考慮到直線電機模組是是自動化機械設備，所以在實際使用中一定要嚴格要求，把控好準確度的具體變化，并做好必要性的直線電機模組準確度測量。

　　運行平行度：在裝置直線模組的平臺上安防標準尺，用實驗指示器在內滑動，可以移動的區域內做好測試，移動區域內數值的大的差便是測量值。

　　定位精度：以直線電機模式的行程為基準長度，用從基準位置開端實際的移動的間隔與指令值相互間的最大誤差的絕對值來表示。

　　相同定位精度：對任何一點在一樣的方向做好7次相同定位，再測出當中值位置，算出表頭數值最大的差值的二分之一。當做測試的規則，在移動間隔的中心及大體上兩側的位置分別做好測試，將測試數值中的最大值當做測量值，用帶有±的最大的差的二分之一表示。

　　游隙：對內滑塊給予進給，以滑塊剛剛開端移動時，實驗指示器的數值為基準，這種模式開端，不依賴于進給裝置，在內滑塊移動的方向一樣的方向上（工作臺的進給的方向）施加負荷，過后把測試開端時的基準值與回去時位置相互間的差值，當做測量值。測試在運動大部分的中心及大體上兩側的位置分別做好，把所取得的數值中的最大值當做測量值。